Linearsysteme   Mehrachs-Systeme
Linearsysteme

Mehrachs-Systeme

Mehrachs-Systeme sind universell einsetzbare kompakte Systeme zur Erfüllung aller Positionieraufgaben im Raum. Wir bieten Ihnen für die unterschiedlichsten Anforderungen das passende Mehrachssystem. Die Systeme können
aus allen Linearachsen unserer Produkte kombiniert und modular aufgebaut werden, egal ob Kreuztische, 2-Achsen- oder 5-Achsen Systeme.

Als Systemanbieter realisieren wir die Anforderungen ganz nach den Wünschen und Bedürfnissen unserer Kunden.

LMX2E Kreuztisch

LMX2E Kreuztisch

  • Kombinierbar mit allen LMX Linearmotorachsen
  • Ausgestattet mit eisenlosen Linearmotoren
  • Geringe Trägheit und hohe Beschleunigung
  • Kein Rastmoment
  • Besonders steifer Aluminiumrahmen mit
  • geringer Bauhöhe
  • Wiederholbarkeit +/- 0,002 mm
  • Geschwindigkeit bis max. 5 m/s
  • Beschleunigung bis max. 100 m/s²
LMX2L Kreuztisch

LMX2L Kreuztisch

  • Kombinierbar mit allen LMX Linearmotorachsen
  • Ausgestattet mit eisenbehafteten Linearmotoren
  • Höhere Vorschubkraft, hohe Beschleunigung
  • Kein Rastmoment
  • Besonders steifer Aluminiumrahmen mit
  • geringer Bauhöhe
  • Wiederholbarkeit +/- 0,002 mm
  • Geschwindigkeit bis max. 4 m/s
  • Beschleunigung bis max. 50 m/s²
Kreuztisch - Laserbearbeitung

Kreuztisch - Laserbearbeitung

Dieser Kreuztisch wird für die Laserbearbeitung eingesetzt und ist wegen der entstehenden Materialpartikel komplett über Blechabdeckungen gekapselt.

  • eisenlose Motoren LMC
  • Verfahrweg 300x200 mm
  • Wiederholbarkeit +/- 2 μm
  • bewährte Technologie mit hohen Stückzahlen
Laser-Trimming mit höchster Präzision

Laser-Trimming mit höchster Präzision

Optimale Ergebnisse erfordern hohe Ebenheit und Rechtwinkligkeit über einen großen Verfahrweg. Bei der Laserbearbeitung entstehende Materialpartikel machen die Faltenbalgabdeckung erforderlich.

  • eisenbehaftete Motoren LMS
  • Achsen mit Grundprofil aus Stahl
  • Verfahrweg 700x750 mm
  • Wiederholbarkeit +/- 2 μm
  • Ebenheit +/- 0,01/300 mm
  • Rechtwinkligkeit +/- 5 arcsec

 

Flexible Kontaktierung - Laser Trimming

Flexible Kontaktierung - Laser Trimming

Drei Kontaktiernadeln werden über kleine Linearmotorkreuztische programmgesteuert verfahren und ermöglichen das Messen von Leiterplatten. Um eine exakte Positionierung zu gewährleisten ist die X/Y Bewegung der Nadeln über eine Wegmesssystem geregelt.

  • 3 Linearmotorkreuztische auf Aluminiumgrundplatte montiert
  • eisenlose Linearmotoren
  • Achsen mit Grundprofil aus Stahl
  • Verfahrweg Kreuztisch 120x120 mm
  • Wiederholbarkeit +/- 5 μm

 

Mikrosystemtechnik und Waferbearbeitung

Mikrosystemtechnik und Waferbearbeitung

Absolute Genauigkeit und die Eignung für Reinraumbedingungen sind die Voraussetzung für jeden Antrieb in der Mikrosystemtechnik und der Waferbearbeitung.

  • eisenlose Motoren LMC
  • Achsen mit Grundprofil aus Stahl
  • Verfahrweg 200x200 mm, optional 300x300 mm
  • Wiederholbarkeit +/- 1 μm über beide Achsen
  • Ebenheit +/- 4 µm über den gesamten Verfahrweg
  • Reinraumtauglich Klasse 100, optional Klasse 10
  • Optional vakuumtauglich bis 10-³ mbar
Wafer-Qualitätskontrolle auf höchstem Niveau

Wafer-Qualitätskontrolle auf höchstem Niveau

Hochpräzisions-Kreuztische mit Luftlager sind die Voraussetzung für eine Oberflächen- kontrolle, die auch den kleinsten Fehler findet. Zum Beispiel in der Waferproduktion für die Elektronik- und Chip-Industrie.

  • eisenlose Motoren LMC (in X-Achse synchronisiert)
  • Auflösung 5 nm
  • Genauigkeit +/- 2 µm
  • Wiederholbarkeit +/- 0,5 μm
  • Ebenheit +/- 2 µm
2-Achsen System

2-Achsen System

  • eisenbehaftete Motoren LMS
  • Linearmotorachse LMX (X-Achse)
  • Linearmotorachse LMV (Z-Achse) mit pneumatischer Gewichtskompensation
  • bewährte Technologie mit hohen Stückzahlen
2-Achsen System - Photovoltaik-Panel Montage

2-Achsen System - Photovoltaik-Panel Montage

Hochdynamische Positionierung der Siliziumzellen 24 Stunden pro Tag.

  • Lange Standzeiten, da auch Vertikalachsen mit Linearmotoren ausgestattet
  • Vertikalachsen mit einfach einstellbarer Gewichtskompensation und notausfähigem Klemmelement
2-Achsen System - Laserscriping

2-Achsen System - Laserscriping

Die hohe geforderte Genauigkeit wird durch den Einsatz von Glasmaßstäben erreicht.
Die untere Achse positioniert das Werkstück, die obere Achse verfährt den Laser.

  • Kundenspezifisches System mit LMC Motoren
  • Verfahrweg 400x110 mm
  • Wiederholbarkeit +/- 1 μm
  • Rechtwinkligkeit 8 µm
  • Ebenheit +/- 5 µm
3-Achsen System - Dispenser

3-Achsen System - Dispenser

Diese Applikation stellt höchste Ansprüche an die Ebenheit. System mit Linearmotoren-achsen (X- und Auslegerachse) und Spindelachse GTKK (Z-Achse).

  • Verfahrweg 150x250x60 mm
  • Wiederholgenauigkeit +/- 5 μm
  • Ebenheit +/- 10 µm / 300 mm
  • Hohe Steifigkeit der unteren Achse durch Stahlprofil
  • Auslegerachse durch Aluprofil gegen Durchbiegung versteift
  • Erstellung der Kalibriertabelle zur Kompensation des Ebenheitsfehlers
Laserbearbeitung

Laserbearbeitung

Dieser Kreuztisch dient zur genauen Positionierung der Bauteile für die Laser- bearbeitung.

  • X-Achse: Präzisionsschlitten PFS 155
  • Y-Achse: Präzisionsschlitten PFS 155 mit Motorumlenkung
  • Verfahrweg 300x200 mm
  • Wiederholgenauigkeit +/- 0,02 mm / Achse
  • Anschlussfertig mit Motoren
Lötstelleninspektion

Lötstelleninspektion

Positionierung von Leiterplatten für die Inspektion von Lötstellen.

  • X-Achse: Spindelachse GTKK
  • Y-Achse: Spindelachse GTKK
  • Verfahrweg 500x300 mm
  • Wiederholbarkeit +/- 0,01 mm / Achse
3-Achsen Granitsystem - Präzise Laserbearbeitung

3-Achsen Granitsystem - Präzise Laserbearbeitung

Anwendung für präzise Laserbearbeitungen wie Schneiden, Schweißen, Strukturieren und Bohren ebenso wie für hochpräzise Applikationen mit Ultrakurzpulslasern.

  • X-Achse: Linearmotorachse mit eisenbehafteten Linearmotor
  • Y-Achse: Linearmotorachse mit eisenbehafteten Linearmotor
  • Z-Achse: Spindelachse mit AC-Servomotor
  • Verfahrweg 400x400x150 mm
  • Wiederholgenauigkeit +/- 2 µm / Achse
  • Positioniergenauigkeit: +/- 4 µm / Achse
2-Achsen System - Automatisierungstechnik

2-Achsen System - Automatisierungstechnik

Anwendung in einer Produktionsmaschine für das präzise Handling von kleinen Bauteilen mit hohen Taktzeiten.

  • X-Achse: Linearmotorachse mit zwei Verfahrschlitten, Faltenbalgabdeckung und eisenbehafteten Linearmotoren
  • Y-Achsen: Linearmotorachse mit eisenbehafteten Linearmotor (Moving magnet)
  • Verfahrweg 1100x80 mm
  • Absolutes Wegmesssystem mit einer Auflösung von 1 µm
3-Achsen System - Magnetfeldmessung

3-Achsen System - Magnetfeldmessung

Mit diesem System wird eine Messsonde zur Vermessung eines Magnetfeldes
positioniert.

  • XYZ-Achse: Spindelachse GTKK
  • Verfahrweg 300x300x300 mm
  • Wiederholgenauigkeit +/- 0,01 mm / Achse
  • Anschlussfertig mit Servomotoren, kompletter Verkabelung, CNC-Steuerung und Programmierung
3-Achsen System

3-Achsen System

  • XY-Achse: Spindelachse DST-DSK
  • Z-Achse: Hubzyllinder EHT-EHK
  • System komplett mit Motoren
  • Wiederholgenauigkeit +/- 0,02 mm / Achse
4-Achsen System - Photovoltaik-Laborsystem

4-Achsen System - Photovoltaik-Laborsystem

Dieses 4-Achsen System wird im Labor für Versuche von Medien für Solarzellen
eingesetzt.

  • X-Achse: Präzisionsschlitten PFS 155 mit Motorumlenkung
  • Y-Achse: Spindelachse GTKK mit Motorumlenkung
  • Z-Achse: Präzisionsschlitten PFS 155
  • U-Achse: Schrittmotor mit manuellen Greifer zur Klemmung des Mediums
  • Verfahrweg 1100x300x200 mm
  • Wiederholgenauigkeit +/- 0,02 mm / Achse
  • Anschlussfertig mit Schrittmotoren, kompletter Verkabelung, CNC-Steuerung und Programmierung
2-Achsen System - Keramikindustrie

2-Achsen System - Keramikindustrie

Dieses 2-Achsen System wird in der Keramikindustrie für das Handling von Teller von einer Förderstrecke zur Druckmaschine eingesetzt.

  • XZ-Achse: Zahnriemenachssystem ELZI 
  • Verfahrweg 2000x500 mm
  • Wiederholgenauigkeit +/- 0,1 mm
  • Anschlussfertig mit Servomotoren, kompletter Verkabelung, Steuerung und Programmierung